5米DEM数据是主要以多颗高分辨率卫星数据为原始数据，利用空中三角测量成果所获得具有三维坐标并经过严密平差解算的定向点构成三角网生成数字表面模型，然后通过滤波、编辑等智能化的人机交互手段，处理和制作5m×5m空间分辨率的数字高程模型（DEM）。空间分辨率为5米，格式为栅格，参考大地水准面为WGS_84。

数字高程模型（Digital Elevation Model，简称DEM），利用有序、有限的位置高程数值矩阵实现对地球表面高程状态的数字化模拟，是建立数字地形模型（Digital Terrain Model，简称DTM）的基础。

建立DEM的方法有多种。从数据源及采集方式讲有：(1)直接从地面测量,例如用GPS、全站仪 、野外测量等；(2)根据航空或航天影像，通过摄影测量途径获取，如立体坐标仪观测及空三加密法、解析测图、数字摄影测量等等；(3)从现有地形图上采集，如格网读点法、数字化仪手扶跟踪及扫描仪半自动采集然后通过内插生成DEM等方法。DEM内插方法很多,主要有整体内插、分块内插和逐点内插三种。整体内插的拟合模型是由研究区内所有采样点的观测值建立的。分块内插是把参考空间分成若干大小相同的块，对各分块使用不同的函数。逐点内插是以待插点为中心，定义一个局部函数去拟合周围的数据点，数据点的范围随待插位置的变化而变化，因此又称移动拟合法。有规则网络结构和不规则三角网(Triangular Irregular Network, 简称TIN)两种算法。